纳米超气浮运动大理石平台
气浮平台特征：
双驱五轴运动
采用激光干涉仪做位置反馈。定位精度与重复定位精度纳米
大速度1000mm/s
大加速度：4G
大负载：50KG
纳米 超精密气浮运动平台，可实现XY同步运动。
采用激光干涉仪作为位置反馈，实现纳米 定位精度与重复定位精度。
气浮平台应用：
满足高速、高加速、高精度产品的定制需求。
适用于科研、实验室、激光加工、晶圆检测、晶圆划片、等半导体行业
| 产品/服务： | |
|---|---|
| 品 牌： | 智德 |
| 有效期至： | 长期有效 |
| 最后更新： | 2020-09-22 12:00 |
(发货期限：自买家付款之日起 30 天内发货)
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| 品牌： | 智德 |
| 行程： | 根据要求 |
| 定位精度： | 纳米 |
| 重复定位： | 纳米 |
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￥ 130000.00
￥ 2500.00
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