超高精密：分辨率10nm,重复精度50nm,定位精度：100nm
超稳定性：花岗石机台，气浮导轨，直线电机驱动，匀速段速度波动低于0.05%
高动态性：高加速度，高响应，静音平稳运行，同时保持长期优越的稳定性
超精密气浮平台 应用
半导体制造、激光成像、平板显示器制造、激光切割、精密测量等高精度定位的场合
| 产品/服务： | |
|---|---|
| 品 牌： | 智德 |
| 有效期至： | 长期有效 |
| 最后更新： | 2020-09-22 12:00 |
(发货期限：自买家付款之日起 3 天内发货)
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超高精密：分辨率10nm,重复精度50nm,定位精度：100nm
超稳定性：花岗石机台，气浮导轨，直线电机驱动，匀速段速度波动低于0.05%
高动态性：高加速度，高响应，静音平稳运行，同时保持长期优越的稳定性
超精密气浮平台 应用
半导体制造、激光成像、平板显示器制造、激光切割、精密测量等高精度定位的场合
| 品牌： | 智德 |
| 行程： | 根据要求 |
| 定位精度： | 亚微米 |
| 重复精度： | 亚微米 |
￥ 1000.00
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