美国OAI INSTRUMENTS曝光机
产品范围：
美国OAI INSTRUMENTS曝光机、OAI INSTRUMENTS光刻机、OAI INSTRUMENTS光源、OAI INSTRUMENTS、OAI INSTRUMENTS光功率计、OAI INSTRUMENTS分析仪
品牌介绍：
OAI INSTRUMENTS是业内生产可靠并精密设备的MEMS，半导体，纳米技术，洁净室自动化和紫外线光测量的制造商。OAI系统可同时用于研发和生产半导体，MEMS和微流体装置。从光罩对准和UV光源UV电力仪表，OAI是在同行业中的超过35年。OAI光功率计以其测量精度，重复性著称，测量数据符合美国NIST标准，广泛应用于半导体光刻能量测量及控制。
主要型号：
Model 306、Model 308、Model 311、Model 316、Model 317、Model 356、Model 357、Model 358、Model 457、Model 458、Model 459
美国OAI INSTRUMENTS Model 800半自动光刻机简介：
光刻方式：接近式，软，硬，真空接触式
曝光距离：0-3000μm
间隙调节步进：1um
机械精度：1.5um
光刻精度：软接触2um,硬接触小于1um
美国OAI INSTRUMENTS Model 6000全自动光刻机技术规格：
光刻方式：接近式，软，硬，真空接触式
基底尺寸：2-12寸晶圆或者大200mm方形
曝光分辨率：
真空接触:0.5-0.8um
硬接触:0.8-1.0um
软接触:1.0-3.0um
接近式(20um 间隙):3.0um
曝光均匀性：优于±3%
对准精度：顶面0.5um，底面1.0um（选件）
产量：180片/小时大
上海连航机电科技有限公司是国内的进口机电产品与技术集成服务商。公司专注于为中国工业企业供应进口备品备件，提供过程控制技术询问，工业自动化集成设计与改造，成套设备与技术引进等工业技术应用及产品供应服务。为紧跟工业科技发展步伐，连航分别在德国和美国设立了公司和仓储中心， 举巩固了 采购能力，扩大了由工厂直采加产品集散带来的二度成本优势，进而提升了终端服务效率与水平。客户广泛分布于全国各大地区与行业，主要有：汽车制造、机械设备制造、电力、石化、采矿、钢铁、有色金属、电气仪表制造、食品饮料、橡胶制品、医药生产、造纸、纺织、印刷、水泥、玻璃、环境设备、军需工业等。
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